3D-Topografiemesssystem der MTS-Serie
Die MTS-Serie ermöglicht schnelle und präzise 3D-Oberflächenmessungen mittels spektraler Konfokaltechnologie mit einer Auflösung von 20 nm in Z-Richtung. Sie verfügt über eine automatisierte 4-Achsen-Plattform, eine Abtastrate von 6000 Hz und intelligente Software mit Q-DTS/AI-Integration. Die Serie unterstützt eine Vielzahl von Materialien, darunter transparente, reflektierende und raue Oberflächen. Sie eignet sich ideal für die Halbleiter-, Automobil- und Elektronikindustrie zur Erkennung von Unebenheiten, zur Messung von Rillen und zur Oberflächenanalyse mit außergewöhnlicher Präzision und Effizienz.
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Revolutionäre 3D-Messtechnologie
Die MTS-Serie stellt einen Durchbruch in der berührungslosen 3D-Oberflächenmesstechnik dar. Sie nutzt fortschrittliche spektrale Konfokaltechnologie, um die Einschränkungen herkömmlicher Messmethoden zu überwinden. Im Gegensatz zu konventionellen Digitalmikroskopen, die Tiefenstapelung erfordern, oder Laser-Konfokalsystemen mit geringen Scangeschwindigkeiten liefert das MTS-System vollständige 3D-Oberflächendaten in einem einzigen, schnellen Messzyklus.
Kerntechnologie-Vorteile
Der spektrale konfokale Sensor des Systems arbeitet nach optischen Dispersionsprinzipien und stellt eine präzise Wellenlängen-Entfernungs-Korrespondenz für eine außergewöhnliche Messgenauigkeit her. Diese Technologie ermöglicht:
Hochgeschwindigkeitsmessung: 6000-Hz-Abtastrate mit linearmotorgetriebener XY-Plattform, die 4x schneller arbeitet als herkömmliche schraubengetriebene Systeme
Überragende Auflösung: Z-Achsen-Auflösung mit einer Genauigkeit von ±80 nm, geeignet zur Messung von Strukturen bis zu einer Größe von 2 μm
MaterialvielfaltUnterstützt transparente/opake Materialien, reflektierende Oberflächen und raue Oberflächen ohne Oberflächenbehandlung
Berührungsloser BetriebVerhindert Probenbeschädigung und erhält gleichzeitig die Messgenauigkeit aufrecht.
Topografische Messung der Uhr
Erweiterte Systemkonfiguration
Optische Systemexzellenz
Das MTS-System verfügt über hochentwickelte optische Module mit vielfältigen Konfigurationsmöglichkeiten (MTS 01/02) und bietet Messbereiche von 0,2 mm bis 10,6 mm. Es zeichnet sich durch eine hohe Punktdichte (192–1200 Punkte/Zeile) und präzise Punktsteuerung (5–10 μm Intervall) aus und gewährleistet so eine umfassende Oberflächenabdeckung.
Präzisionsbewegungsplattform
4-Achs-Elektroplattform mit einem Verfahrbereich von 350 × 350 mm
±0, XY-Positionierungsgenauigkeit und ±0,15 μm Wiederholgenauigkeit
5 mm Z-Achsen-Hub mit ±0,2 μm Positioniergenauigkeit
Hochgeschwindigkeitsscanning mit 80 mm/s und außergewöhnlicher Stabilität
Intelligente Softwareintegration
Das System umfasst professionelle Analysesoftware mit spektraler konfokaler Datenerfassung, Navigationskartierung und umfassenden 2D/3D-Messfunktionen. Optionale Q-DTS-Datenverbindung und die Avocado-KI-Plattform ermöglichen erweiterte Analysen und automatisierte Berichterstellung in verschiedenen Formaten (Word, Excel).
Industrielle Anwendungen
Die MTS-Serie erfüllt wichtige Qualitätskontrollfunktionen in verschiedenen Branchen:
Halbleiter: Messung der Bump-Höhe, Analyse der Waferrillen, Fehlererkennung
ElektronikLeiterplattenprüfung, Überprüfung der Bauteilkoplanarität
AutomobilOberflächentopographieanalyse, Präzisionsteilmessung
MedizinprodukteOberflächenqualität des Implantats, Mikrostrukturprüfung
Forschung und EntwicklungMaterialcharakterisierung, Oberflächenuntersuchungen
Wettbewerbsvorteile
Im Vergleich zu alternativen Technologien weist die MTS-Serie deutliche Verbesserungen auf:
vs. Digitale Mikroskope: Eliminiert die Notwendigkeit der Tiefenstapelung, liefert echte 3D-Daten
vs. Laser-KonfokalsystemeSchnellere Messgeschwindigkeiten, größeres Sichtfeld
vs. WeißlichtinterferometrieBessere Leistung auf rauen Oberflächen, geringerer Wartungsaufwand
im Vergleich zu traditionellen MethodenHöhere Genauigkeit, automatisierter Betrieb, bessere Wiederholgenauigkeit
Das modulare Design des Systems ermöglicht die Anpassung an spezifische Anwendungsanforderungen und gewährleistet gleichzeitig die für industrielle Umgebungen erforderliche Zuverlässigkeit. Mit 20 Jahren Branchenerfahrung und der Betreuung von fast 2.000 Industriekunden stellt Lionhearted Technology sicher, dass die MTS-Serie selbst anspruchsvollste Messanforderungen erfüllt.
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