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3D-Topografiemesssystem der MTS-Serie
Die MTS-Serie ermöglicht schnelle und präzise 3D-Oberflächenmessungen mittels spektraler Konfokaltechnologie mit einer Auflösung von 20 nm in Z-Richtung. Sie verfügt über eine automatisierte 4-Achsen-Plattform, eine Abtastrate von 6000 Hz und intelligente Software mit Q-DTS/AI-Integration. Die Serie unterstützt eine Vielzahl von Materialien, darunter transparente, reflektierende und raue Oberflächen. Sie eignet sich ideal für die Halbleiter-, Automobil- und Elektronikindustrie zur Erkennung von Unebenheiten, zur Messung von Rillen und zur Oberflächenanalyse mit außergewöhnlicher Präzision und Effizienz.
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