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Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop HEM6000
Hochgeschwindigkeits-Scantreiber Verweilzeit: 10 ns/Pixel; Maximale Aufnahmegeschwindigkeit: 2×100M Pixel/s Elektronenfiltersystem Die SE/BSE-Signale können frei umgeschaltet werden, und das Mischungsverhältnis der Signale ist einstellbar. Vollständig elektrostatisches Hochgeschwindigkeits-Ablenksystem Es ermöglicht einen hochauflösenden Großfeldmodus. Bei einer Pixelgröße von 4 nm erreicht das maximale Sichtfeld 32 μm × 32 μm. Probenstufen-Verzögerungstechnologie Es reduziert die Landespannung der einfallenden Elektronen und verbessert gleichzeitig die Sammelleistung der recycelten Elektronen. Immersions-Elektromagnetisches Verbundobjektiv Das Magnetfeld der Objektivlinse umschließt die Probe und erzielt so geringe Aberrationen und eine hohe Auflösung.
Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop HEM6000 Industrielles Rasterelektronenmikroskop zur Halbleiterinspektion Niederspannungs-Hochauflösungs-REMSend Email Einzelheiten
