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Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop HEM6000
Hochgeschwindigkeits-Scantreiber Verweilzeit: 10 ns/Pixel; Maximale Aufnahmegeschwindigkeit: 2×100M Pixel/s Elektronenfiltersystem Die SE/BSE-Signale k?nnen frei umgeschaltet werden, und das Mischungsverh?ltnis der Signale ist einstellbar. Vollst?ndig elektrostatisches Hochgeschwindigkeits-Ablenksystem Es erm?glicht einen hochaufl?senden Gro?feldmodus. Bei einer Pixelgr??e von 4 nm erreicht das maximale Sichtfeld 32 μm × 32 μm. Probenstufen-Verz?gerungstechnologie Es reduziert die Landespannung der einfallenden Elektronen und verbessert gleichzeitig die Sammelleistung der recycelten Elektronen. Immersions-Elektromagnetisches Verbundobjektiv Das Magnetfeld der Objektivlinse umschlie?t die Probe und erzielt so geringe Aberrationen und eine hohe Aufl?sung.
Hochgeschwindigkeits-Rasterelektronenmikroskop HEM6000 Industrielles Rasterelektronenmikroskop zur Halbleiterinspektion Niederspannungs-Hochaufl?sungs-REMSend Email Einzelheiten
