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DB550 Ga+ Fokussiertes Ionenstrahl-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
Das DB550 integriert eine Ga+-FIB-S?ule (Focused Ion Beam) mit einem Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) und verfügt über eine ?Super Tunnel“-Elektronenoptik (aberrationsarme, magnetfeldfreie Linse), eine Ionenaufl?sung von 3 nm bei 30 kV und eine Rasterelektronenmikroskop-Aufl?sung von 0,9 nm bei 15 kV. Es beinhaltet einen Nanomanipulator (≤10 nm Pr?zision), ein Gaseinspritzsystem (Einzelgaseinspritzung, Temperaturregelung ±0,1 °C) und eine 8-Zoll-kompatible Schleuse. Ideal für die Nanofabrikation, die Halbleiterfehleranalyse und die Materialcharakterisierung mit automatisierten Arbeitsabl?ufen und erweiterbaren Detektoren (EDS/EBSD/STEM).
DB550 Ga+ Fokussiertes Ionenstrahl-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop Integrierte FIB-SEM-Workstation Supertunnel-ElektronenoptikSend Email Einzelheiten
