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  • Spektrales konfokales 3D-Topographie-Messsystem der MTS-Serie

    Spektrales konfokales 3D-Topographie-Messsystem der MTS-Serie

    Die MTS-Serie nutzt fortschrittliche spektrale Konfokaltechnologie für die berührungslose 3D-Oberflächenmessung und erzielt eine außergewöhnliche Z-Achsen-Auflösung von bis zu 20 nm. Sie verfügt über Linearmotorplattformen mit 0,1 μm Präzision, automatisierte Scanfunktionen und ist mit verschiedenen Materialien kompatibel. Die Serie unterstützt diverse Anwendungen wie die Inspektion von Halbleiter-Bumps, die Messung von Nuten und die Analyse von Lasermarkierungen. Dank proprietärer Software und KI-Algorithmen ermöglicht sie eine effiziente Datenverarbeitung und Echtzeit-Berichterstellung. Ideal für die präzise Fertigungsqualitätskontrolle in der Elektronik-, Automobil- und Halbleiterindustrie.

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