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Spektrales konfokales 3D-Topographie-Messsystem der MTS-Serie
Die MTS-Serie nutzt fortschrittliche spektrale Konfokaltechnologie für die berührungslose 3D-Oberfl?chenmessung und erzielt eine au?ergew?hnliche Z-Achsen-Aufl?sung von bis zu 20 nm. Sie verfügt über Linearmotorplattformen mit 0,1 μm Pr?zision, automatisierte Scanfunktionen und ist mit verschiedenen Materialien kompatibel. Die Serie unterstützt diverse Anwendungen wie die Inspektion von Halbleiter-Bumps, die Messung von Nuten und die Analyse von Lasermarkierungen. Dank propriet?rer Software und KI-Algorithmen erm?glicht sie eine effiziente Datenverarbeitung und Echtzeit-Berichterstellung. Ideal für die pr?zise Fertigungsqualit?tskontrolle in der Elektronik-, Automobil- und Halbleiterindustrie.
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