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SEM-X-Serie Ultrahochaufl?sendes Schottky-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
Die SEM-X-Serie bietet bahnbrechende Aufl?sung (0,6 nm bei 15 kV, 1,2 nm bei 1 kV) mit Niederspannungs-Bildgebung und minimiert so Probensch?den. Sie integriert ?Super-Tunnel“-Elektronenoptik, elektrostatisch-elektromagnetische Verbundlinsen und eine Zweistrahl-Verz?gerungstechnologie für aberrationsfreie Ergebnisse. Zu den Merkmalen geh?ren ein Niedervakuummodus (10–180 Pa), eine 8-Zoll-kompatible Schleuse und Multidetektorsysteme (UD-SE/BSE, LD, LVD) für vielseitige Analysen. Ideal für die Halbleiter-, Material- und Lebenswissenschaften, bietet sie Automatisierung und Erweiterungsm?glichkeiten für Forschungsanwendungen.
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